昨日、すべての国内サイトは、ロシアマイクロンが65 nmの基準（または「ロシアで最初の65 nmマイクロ回路がリリースされた」）に基づいてマイクロ回路を製造する技術を開発したというニュースを広めました。 Micronは以前、STMicroelectronicsから90nmテクノロジーのライセンスを受けていました。 状況を理解するために、もう少し詳しく試してみましょう。
ミクロンは今回、驚くほど多くの情報を公開しました。 写真には、1つのテストトランジスタのマーキングと、電子顕微鏡で撮影した写真があります。 カットの下で-これがどのように行われるかを見て、Intel 65nmと比較しましょう。
 |  |  |
プロセス比較
Mikronは、プロセス技術のパラメーターを記載した表を公開しました。 比較のために、Intel 65nmプロセステクノロジーを追加しました。| 技術 | ミクロン65nm | ミクロン90nm | Intel 65nm |
| ゲート長 | 45nm
写真の54nm | 65nm | 35-38nm
+ SiGeストレス |
| ゲート酸化膜厚（電気的） | 2.2nm（n）/ 2.2nm（p） | 2.2nm（n）/ 2.2nm（p） | 1.2nm SiON |
| 相互接続 | 9-Cu + 1-Al | 7-Cu + 1-Al | 8-cu |
| メタル1ピッチ | 0.18μm | 0.24μm | 0.21μm |
| レベル間誘電体 | k = 2.9 | k = 2.9 | k = 2.9 |
シャッターの長さとゲート誘電体の厚さは、これが低消費で低速のLPプロセス技術であることを示しています。 したがって、Micronで最初のCore2Duoに似たプロセッサを作成する方法はありませんが、LP技術プロセスには多くのアプリケーションがあります。
金属の数により、任意の複雑なプロセッサを実装できます。
65nmを追求して
私たちが思い出すように、光学的フォトリソグラフィーの解像度はレイリー基準に従います：
現時点では、Micronの最先端のフォトリソグラフィーユニット（ASML PAS / 1150Cスキャナー）はNA = 0.75で、193nmの波長で動作します。 パラメータkは、使用される「トリック」の乗数であり、取得した解像度を向上させることができます。 トリックなしのフォトリソグラフィの場合-0.4。 Mikronovsky 90nmの場合、kはすでに0.35でした。 同じスキャナーで正直な65nmを得るには、kを何らかの方法で0.25に減らす必要があります（つまり、多くのトリックを追加します）。
しかし、プレスリリース（「フォトリソグラフィーの光学補正を行うための特別なアルゴリズムが開発されました」）からの言葉を考えると、テストトランジスターの通常の古典的なトポロジー（「1次元」構造を使用しない）と写真のシャッター長（54nm）-現在のように見える追加のトリックのない機器は、最初のテストでより小さいゲートのトランジスタを作成しました（これにより、拒否の割合が急激に増加しますが、テストトランジスタの場合は許容されます）。 90nmからの接続。
彼らは、2014年3月に新しいスキャナーがMikronを待っていると言います-そして、それは追加のトリックなしで、そしてトリックで65nmになります-そして、より微妙な技術プロセス（45nm、より低い？） その後、年内（または2015年）に、65nmテクノロジーを使用した最初の本格的なマイクロ回路がリリースされます。 生産量は、1か月あたり約500〜200 mmウェーハになると予想されます。これにより、生産が非常に高価で、州だけで手頃な価格になることが実際に保証されます。
最後に可能なトリックについて
現在のMicron機器で65nmを取得できました。 2007年にIntelが口径0.93（Mikronの0.75を思い出す）のスキャナーを使用して「ドライ」フォトリソグラフィーで45nmプロセスを行った方法を思い出すのに十分です：クリティカルレイヤーは2回のパスで露光されました：最初の呼び出しで一連の水平線が露光されました偏光-この方法により、1つの軸に沿ってのみ、より高い解像度を実現できます。 次に、2回目の露光で、ラインを所望の形状のピースにカットしました。 写真の結果。 実際、同様の方法で32nmの解像度が得られます。
このアプローチにより、k = 0.21を取得でき、Mikronovskyスキャナーの場合、55nmプロセステクノロジーを取得できます。 しかし、確かに作業範囲は非常に印象的です。
まとめ
- 「ロシア製の65nm超小型回路」について話すのは時期尚早です。これらは既存の機器上の単一のテストトランジスタです。
- LPテクノロジー（より長いシャッター長、より厚いゲート絶縁体）-より低い電力消費とより低い速度で、Intel 65nm（最初のCore2Duo）と同様のプロセッサーを期待しないでください。
- 今年Micronで動作するはずの新しい機器（主にスキャナー）を使用すると、65nmテクノロジーと薄型機器の両方が可能になります。
- 生産量が非常に少ないため（1ヶ月あたり500枚）、プレートの価格は非常に高くなることが約束されており、市場は競争力のある65nm民間製品で満たすことができません。 しかし、これは必須ではありませんでした。
参照資料
ミクロンプレスリリースCNewsニュース、いくつかの追加
Intel 65nmテクノロジーの概要
テクノロジー全体の比較チャート