рдЗрд╕ рд╣рдлреНрддреЗ рдХреЗ рдлреНрд▓реИрд╢ рдореЗрдореЛрд░реА рд╕рдорд┐рдЯ рдореЗрдВ , рдЗрдВрдЯреЗрд▓ рдХреЗ рдлреНрд▓реИрд╢ рдкреНрд░реЛрдбрдХреНрд╢рди рд╕реНрдЯреНрд░реЗрдЯреЗрдЬрд┐рдХ рдкреНрд▓рд╛рдирд┐рдВрдЧ рдореИрдиреЗрдЬрд░, рдЧреНрд░реЗрдЧ рдХреЛрдореЛрдЯреЛ рдиреЗ рдХрд╣рд╛ рдХрд┐ рдХрдВрдкрдиреА рдиреЗ рдкрд╣рд▓реЗ рд╣реА 90nm OUM рдирдореВрдиреЗ рдмрдирд╛ рд▓рд┐рдП рд╣реИрдВред рдЙрдиреНрд╣реЛрдВрдиреЗ рдпрд╣ рднреА рдХрд╣рд╛ рдХрд┐ рднрд╡рд┐рд╖реНрдп рдореЗрдВ рдпрд╣ рдореЗрдореЛрд░реА рдирдВрдж рдХреА рдкрд╛рд░рдВрдкрд░рд┐рдХ рд╕реНрдореГрддрд┐ рдХреЛ рдмрджрд▓ рджреЗрдЧреАред рдЙрдирдХреЗ рдЕрдиреБрд╕рд╛рд░, рдХреЛрдИ рднреА рддрдХрдиреАрдХ рдХреАрдордд рдФрд░ рдЕрдиреНрдп рд╡рд┐рд╢реЗрд╖рддрд╛рдУрдВ рдореЗрдВ рдУрдпреВрдПрдо рдХреЗ рд╕рд╛рде рдкреНрд░рддрд┐рд╕реНрдкрд░реНрдзрд╛ рдХрд░рдиреЗ рдореЗрдВ рд╕рдХреНрд╖рдо рдирд╣реАрдВ рд╣реИред

рдЗрдВрдЯреЗрд▓ рдЕрдзреНрдпрдпрдиреЛрдВ рд╕реЗ рдкрддрд╛ рдЪрд▓рддрд╛ рд╣реИ рдХрд┐ рдУрдпреВрдПрдо рдкреНрд░реМрджреНрдпреЛрдЧрд┐рдХреА рдХрд╛ рдЙрдкрдпреЛрдЧ 15 рдПрдирдПрдо рддрдХ рдХреЗ рдорд╛рдирдХреЛрдВ рдХреЗ рд╕рд╛рде рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛рдУрдВ рдореЗрдВ рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛ рд╕рдХрддрд╛ рд╣реИред рдпрд╣ рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдХрд╛рдЗрдХреНрд░реЗрдЯреНрд╕ рдХреЗ рд▓рдШреБрдХрд░рдг рдХреЗ рд▓рд┐рдП рдмрд╣реБрдд рд╕рдВрднрд╛рд╡рдирд╛рдПрдВ рдЦреЛрд▓рддрд╛ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕рдХрд╛ рдЕрд░реНрде рд╣реИ рдХрд┐ рдЙрдирдХреА рд╕рд╕реНрддреА рдФрд░ рдмреЗрд╣рддрд░ рдЧреБрдгрд╡рддреНрддрд╛ рдХреА рд╡рд┐рд╢реЗрд╖рддрд╛рдПрдВред
рдлреЗрдЬ рдЪреЗрдВрдЬ рдореЗрдореЛрд░реА рдорд╛рдЗрдХреНрд░реЛрдХрд┐рд░реБрдЗрдЯреНрд╕ рдХреЛ рдирд┐рдпрдорд┐рдд рд╕реАрдбреА рдХреЗ рд╕рдорд╛рди рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рд╕реЗ рдмрдирд╛рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИред рдореЛрд▓реНрдбрд┐рдВрдЧ рдХреЗ рдмрд╛рдж рдирд┐рд░реНрдорд╛рдг рдкреНрд░рдХреНрд░рд┐рдпрд╛ рдореЗрдВ, рд╕рд╛рдордЧреНрд░реА рдХреЗ рдХреБрдЫ рдЦрдВрдбреЛрдВ рдХреЛ рдЬрд▓реНрджреА рд╕реЗ 600 ┬░ C рддрдХ рдЧрд░реНрдо рдХрд┐рдпрд╛ рдЬрд╛рддрд╛ рд╣реИ, рдЬрд┐рд╕рд╕реЗ рдпреЗ рдЦрдВрдб рдкрд┐рдШрд▓ рдЬрд╛рддреЗ рд╣реИрдВ, рдЕрд░реНрдерд╛рддреН рд╡реЗ рдХреНрд░рд┐рд╕реНрдЯрд▓реАрдп рдЕрд╡рд╕реНрдерд╛ рд╕реЗ рдПрдХ рдЕрдирд╛рдХрд╛рд░ рдореЗрдВ рдкрд░рд┐рд╡рд░реНрддрд┐рдд рд╣реЛ рдЬрд╛рддреЗ рд╣реИрдВред